钛靶材又称钛靶、高纯钛靶,是一种高纯金属溅射靶材,以高纯钛为原料制备,整体纯度可达99.99%及以上(4N级),杂质含量低、组织致密、色泽银白。靶材密度达4.5克每立方厘米及以上,溅射速率稳定、膜层均匀致密、结合力优良。作为钛溅射靶材,广泛用于装饰镀膜与工具硬质涂层领域,如卫浴五金、手表表壳、消费电子外观件的钛金(氮化钛)金色膜与耐磨装饰层,以及切削刀具、模具的表面硬化涂层,提升耐磨耐腐蚀性能;也用于半导体与精密光学的功能膜制备。
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