铌钛合金靶材又称NbTi靶材、铌钛合金靶,是一种高纯铌钛二元合金溅射靶材,以高纯铌与高纯钛熔炼复合,Nb与Ti比例可按工况调配(常见约50比50),整体纯度可达99.9%及以上(3N级),成分均匀、杂质含量低。靶材密度达5.8克每立方厘米及以上,组织致密、溅射稳定、膜层均匀结合力好。作为铌钛溅射靶材,广泛用于超导薄膜与电子功能器件制备,如超导量子器件、低温超导功能膜及高频电子薄膜;也用于半导体与精密光学的功能镀膜。
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