钛铌合金靶材又称TiNb靶材、钛铌合金靶,是一种高纯钛铌二元合金溅射靶材,以高纯钛与高纯铌熔炼复合,Ti与Nb比例可调(常见约50比50),整体纯度可达99.9%及以上(3N级),成分均匀稳定、耐腐蚀性好。靶材密度达5.8克每立方厘米及以上,溅射成膜致密、附着力强、硬度高。作为钛铌溅射靶材,多用于装饰硬质涂层与耐磨耐腐蚀功能膜,如切削刀具、模具、卫浴五金的表面强化层,提升硬度与抗腐蚀寿命;也用于电子器件的钛铌功能膜制备。
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