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主动隔振系统-防震台-HERZ

 为各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜。白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台,主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

功能介绍：

是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年。

Table Stable主动隔振技术:

-主动和被动两种隔离机制同时工作，产生**隔振效果

-***的压电陶瓷技术，高效探测传入的振动并主动地消除振动

-无低频共振

-在空间6个自由度都有**的宽频谱衰减能力

-高刚性设计

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