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北京亚科晨晖科技有限公司

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  • 经营模式:

    制造商,贸易商

  • 荣誉认证:

        

  • 注册年份:

    2011

  • 主     营:

    光刻机、键合机、原子力显微镜、扫描电镜

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您当前的位置:首页 » 供应产品 » EVG®20 红外线检查系统
EVG®20 红外线检查系统
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产品: 浏览次数:284EVG®20 红外线检查系统 
单价: 面议
最小起订量: 1
供货总量: 1
发货期限: 自买家付款之日起 90 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2024-11-11 09:36
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详细信息
  • 加工定制:是
  • 型号:EVG®20 红外线检查系统
  • 测量范围:EVG®20 红外线检查系统
  • 重量:200KG

EVG®20  IR Inspection System

EVG®20 红外线检查系统

 

快速检查键合晶圆叠层的空隙

特征

EVG20提供了一种快速检查方法,尤其是对于熔融粘合晶圆。 整个晶片的实时图像通过IR传输支持半径小于0.5 mm的空隙检测。 红外检测系统非常适合作为单独的EVG20工具或作为EVG集成粘合系统中的工作站的熔合工艺。

 

特征

实时成像

一次性检查整个晶圆

可选的粘结销,用于实时可视化直接粘结

Maszara测试兼容

空隙尺寸检测小至0.5 mm半径


Metrology Systems  计量系统

 

计量对于控制,优化并确保半导体制造过程中的**产量至关重要。 通过实施反馈循环,可以启用过程控制和过程参数校正,从而可以满足更严格的过程要求。

EVG的度量衡解决方案针对光刻和所有类型的粘合应用进行了优化,并使用无损测量方法。 客户可以选择将计量技术集成到全自动过程设备中,也可以选择服务于多个过程步骤的独立计量系统。

  

EVG®20

红外线检查系统

快速检查键合晶圆叠层的空隙。

 

EVG®40NT

自动化测量系统

适用于键合和光刻的多功能,高精度度量衡。

 

 EVG®50

自动化计量系统

适用于键合叠层和单晶片的高通量,高分辨率度量衡。


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