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    制造商,贸易商

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    2011

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    光刻机、键合机、原子力显微镜、扫描电镜

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EVG®40NT 自动化测量系统
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产品: 浏览次数:306EVG®40NT 自动化测量系统 
单价: 面议
最小起订量: 1
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有效期至: 长期有效
最后更新: 2024-11-25 09:30
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详细信息
  • 加工定制:是
  • 型号:EVG®40NT 自动化测量系统
  • 测量范围:EVG®40NT 自动化测量系统
  • 重量:290KG

EVG®40 NT   Automated Measurement System

EVG®40NT  自动化测量系统

 

适用于键合和光刻的多功能,高精度计量

 

特征

EVG40 NT(独立工具)和AVM(集成了HVM的模块)能够测量与光刻相关的参数,例如临界尺寸以及键合对准精度。由于系统具有很高的测量精度,因此可以验证是否符合严格的工艺规范并立即优化集成的工艺参数。

凭借其多种测量方法,EVG40 NT可以同时适应多种制造工艺,例如纳米压印光刻或晶圆间键合。

作为一个应用实例,EVG40 NT完善了EVG的产品范围,以实现高精度对准晶圆键合,作为记录工具,可以可靠地验证EVG的GEMINI FB自动熔合的100 nm键合覆盖精度。

 

特征

光刻和键合计量的多功能测量选项

粘接和光刻应用的对准验证

上下显微镜用于多种测量方法

临界尺寸(CD)测量

芯片对芯片对准验证

多层厚度测量

垂直和水平方向的测量精度高

专门的校准程序可实现高通量

基于PC的测量和模式识别软件可实现**可靠性

 


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