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北京亚科晨晖科技有限公司

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  • 企业类型:

    企业单位

  • 经营模式:

    制造商,贸易商

  • 荣誉认证:

        

  • 注册年份:

    2011

  • 主     营:

    光刻机、键合机、原子力显微镜、扫描电镜

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EVG®50 自动化计量系统
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产品: 浏览次数:299EVG®50 自动化计量系统 
单价: 面议
最小起订量: 1
供货总量: 1
发货期限: 自买家付款之日起 90 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2024-11-04 09:13
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详细信息
  • 加工定制:是
  • 型号:EVG®50 自动化计量系统
  • 测量范围:EVG®50 自动化计量系统

EVG®50   Automated Metrology System

EVG®50   自动化计量系统

 

适用于键合叠层和单晶片的高通量,高分辨率计量

 

特征

EVG50(全自动独立工具)和在线计量模块(集成在EVG的大批量生产系统中)可在各种应用中采用不同的测量方法,从而实现高速,高精度的测量。

该工具的应用范围包括用于确定中间层的总厚度变化(TTV)的多层厚度测量,键合界面的检查以及抗蚀剂厚度的测量,并满足了良率驱动的半导体行业的最苛刻要求。

 

特征

具有业界**的吞吐量和分辨率的多层计量

多层厚度映射

绑定界面检查

低接触边缘处理

无颗粒

全区域可访问的正面和背面

自校准可提高系统重现性并延长生产时间

多种输出格式

100%生产检验

 

 


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