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北京亚科晨晖科技有限公司

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  • 经营模式:

    制造商,贸易商

  • 荣誉认证:

        

  • 注册年份:

    2011

  • 主     营:

    光刻机、键合机、原子力显微镜、扫描电镜

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EVG®720 自动化SmartNIL®UV纳米压印光刻系统
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产品: 浏览次数:320EVG®720 自动化SmartNIL®UV纳米压印光刻系统 
单价: 面议
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有效期至: 长期有效
最后更新: 2024-11-11 09:36
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详细信息
  • 加工定制:是
  • 型号:EVG®720 自动化SmartNIL®UV纳米压印光刻系统
  • 用途:EVG®720 自动化SmartNIL®UV纳米压印光刻系统

EVG®720

Automated SmartNIL® UV Nanoimprint Lithography System

EVG®720   自动化SmartNIL®UV纳米压印光刻系统

 

具有EVG专有的SmartNIL®技术的自动全场UV纳米压印解决方案(**150毫米)

 

技术数据

EVG720系统利用EVG的创新SmartNIL技术和材料专业知识,能够大规模制造微米和纳米级结构。具有SmartNIL技术的EVG720系统能够在大面积上印刷小至40 nm *的纳米结构,具有****的吞吐量,非常适合批量生产下一代微流体和光子器件,例如衍射光学元件( DOEs)。  *分辨率取决于过程和模板

 


特征

体积验证的压印技术,具有出色的复制保真度

专有的SmartNIL®技术和多次使用的聚合物印模技术

集成式压印,UV固化脱模和工作印模制造

盒带到盒带自动处理以及半自动R&D模式

可选的顶部对齐

可选的迷你环境

适用于所有市售压印材料的开放平台

从研发到生产的可扩展性

系统外壳,可实现**过程稳定性和可靠性

 

EVG720技术数据

晶圆直径(基板尺寸)75至150毫米

解析度≤40 nm(分辨率取决于模板和工艺)

支持流程:SmartNIL®

曝光源:大功率LED(i线)> 400 mW /cm²

对准:可选的顶部对齐

自动分离:支持的

 

迷你环境和气候控制:可选的

工作印章制作:支持


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