EVG®7200   Automated SmartNIL® UV Nanoimprint Lithography S

EVG®7200   自动化SmartNIL®UV纳米压印光刻系统

具有EVG专有的SmartNIL®技术的自动全场UV纳米压印解决方案（**200毫米）

技术数据

EVG7200系统利用EVG的创新SmartNIL技术和EVG的材料专长来实现微米级和纳米级结构的批量生产。该系统将SmartNIL的**软印和压印功能带到了更大的基板和更小的几何形状上，批量生产时的分辨率低至40 nm *。这带来了更大的拥有成本（CoO）收益，并实现了纳米压印光刻技术的全部制造潜力。

*分辨率取决于过程和模板

特征

体积验证的压印技术，具有出色的复制保真度

专有的SmartNIL®技术和多次使用的聚合物印模技术

集成式压印，UV固化，脱模和工作印模制作

盒带到盒带自动处理以及半自动R＆D模式

可选的顶部对齐

可选的迷你环境

适用于所有市售压印材料的开放平台

从研发到生产的可扩展性

系统外壳，可实现**过程稳定性和可靠性

技术数据

晶圆直径（基板尺寸）75至200毫米；

解析度≤40 nm（分辨率取决于模板和工艺）

支持流程：SmartNIL®

曝光源：大功率LED（i线）> 400 mW /cm²

对准：可选的顶部对齐

自动分离：支持的

迷你环境和气候控制：可选的

工作印章制作：支持的