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北京亚科晨晖科技有限公司

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  • 企业类型:

    企业单位

  • 经营模式:

    制造商,贸易商

  • 荣誉认证:

        

  • 注册年份:

    2011

  • 主     营:

    光刻机、键合机、原子力显微镜、扫描电镜

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EVG®510HE 热压印系统
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产品: 浏览次数:369EVG®510HE 热压印系统 
单价: 面议
最小起订量: 1
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有效期至: 长期有效
最后更新: 2024-11-20 08:52
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详细信息
  • 加工定制:是
  • 型号:EVG®510HE 热压印系统
  • 用途:EVG®510HE 热压印系统

EVG®510 HE  Hot Embossing System

EVG®510HE  热压印系统

高度灵活的热压花系统,用于研发和小批量生产

 

技术数据

EVG510 HE半自动热压花系统设计用于对热塑性基材进行高精度压印。该设备配置有通用压花室以及真空和接触力功能,并管理适用于热压花的全部聚合物。结合高纵横比压印和多种脱压选项,提供了许多用于高质量纳米图案转印的工艺。

 

特征

用于聚合物基材和旋涂聚合物的热压花应用

自动化压花工艺

EVG专有的独立对准工艺,用于光学对准的压印和压印

完全由软件控制的流程执行

闭环冷却水供应选项      ;  外部浮雕和冷却站

 

技术数据

加热器尺寸150毫米200毫米

**基板尺寸150毫米200毫米

最小基板尺寸单芯片100毫米

**接触力:10、20、60 kN

**温度:标准:350°C;可选:550°C

夹盘系统/对准系统:

150毫米加热器:EVG®610,EVG®620,EVG®6200

200毫米加热器:EVG®6200,MBA300,SmartView®NT

真空:标准:0.1毫巴;可选:0.00001 mbar

EVG®520 HE  Hot Embossing System

EVG®520HE   热压花系统

 

经通用生产验证的热压花系统,可满足**要求

 

技术数据

EVG520 HE半自动热压花系统设计用于对热塑性基材进行高精度压印。 EVG的这种经过生产验证的系统可以接受直径**为200 mm的基板,并且与标准的半导体制造技术兼容。热压花系统配置有通用压花腔室以及高真空和高接触力功能,并管理适用于热压花的整个聚合物范围。结合高纵横比压印和多种脱压选项,提供了许多用于高质量图案转印和纳米分辨率的工艺。

 

 

特征

用于聚合物基材和旋涂聚合物的热压花和纳米压印应用

自动化压花工艺

EVG专有的独立对准工艺,用于光学对准的压印和压印

气动压花选项

软件控制的流程执行

 

 

 

 

 

 

 

 

技术数据

加热器尺寸150毫米200毫米

**基板尺寸150毫米200毫米

最小基板尺寸单芯片100毫米

 

**接触力10、20、60、100 kN


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