PICOSUN原子层沉积系统ALD R-1000 Pro
(PICOSUN™ ALD ALD P-1000 Pro)
名称:原子层沉积系统 产地:芬兰
Picosun简介
Picosun是一家全球公司,Picosun的总部位于芬兰的Espoo,其生产设施位于芬兰的Masala(Kirkkonummi)。PICOSUN®ALD设备专为高产量和高产量而设计,并且不断发展以提高效率。Picosun适应性强其客户包括*** 大的电子制造商,小型的创新型挑战者以及全球ling先的大学。 Picosun的组织机构和种类繁多的ALD解决方案都可以满足每个客户的需求。PICOSUN®研发工具具有独特的内置可扩展性,可确保将研究结果平稳过渡到大批量工业制造中,而不会出现技术差距。Picosun的热情在于创新。当您想与设备制造商共同创建定制的ALD解决方案,从而引ling行业发展时,Picosun是您的合作伙伴。
型号:PICOSUN™ ALD ALD P-1000 Pro
PICOSUN™ P系列量产ALD系统定义了高产量ALD的新时代。我们全自动化、真空集群与产线兼容的P系列ALD确保了*大的产出效率,并且具有***的工艺纯度和薄膜均匀性,甚至能完全满足具有*严格要求的半导体行业标准。PICOSUN™ P系列ALD高效紧凑的设计节约了昂贵的场地成本,系统的易维护性减少了停工期。ALD技术可以覆盖各种形状、各种表面的样品,可以覆盖*细小的地方,*难到达的地方。具有高度的保形性、均一性及****无针孔。这使得ALD可以应用于各种行业里,实现各种表面的保护。ALD薄膜可以附着在各种表面上,例如金属,玻璃,塑料,乃至纤维及粉末。作为气相、低温的沉积技术,ALD薄膜可以生长在非常敏感的表面上,例如聚合物薄膜。
技术指标
衬底尺寸和类型 |
156 mm x 156 mm硅片800~1000片/批次(双面/背对背) |
高达400 mm x 600 mm玻璃基板30~50片/批次(双面/背对背) |
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大批量的3D产品(例如:钟表部件,珠宝,硬币,医疗植入部件,机械部件等) |
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多孔,通孔,高深宽比(HAR)样品 |
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工艺温度 |
50 - 500 °C |
基片传送选件 |
气动升降(手动装载,带叉车forklift cart) |
全自动转载,用工业机器人实现 |
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前驱体 |
液态、固态、气态、臭氧源 |
前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务 |
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8根独立源管线,*多加载12个前驱体源 |
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重量 |
2000 kg |
尺寸(W x H x D) |
230 cm x 270 cm x 125 cm |
选件 |
PICOFLOW™ 扩散增强器,N2发生器,尾气处理器,定制设计,与工厂软件连接服务。 |
应用领域
Picosun的ALD技术应用在钟表部件、珠宝、硬币上进行防着色,防腐蚀的装饰涂层。在生物植入医疗部件上的生物兼容、生物活性涂层。致密、惰性、密封、弹性、透明的ALD薄膜技术挑战传统的膜生长方式。在PCB防腐蚀保护、防摩损等领域,ALD层大大提升了部件的质量、可靠性及寿命。
ALD工业领域及应用 |
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产品 |
ALD应用 |
医疗植入(牙科,连接技术) |
植物活性层, 用来提高骨融 |
手术固定器 |
合,生物兼容的包覆层 |
植入医疗器件 |
生物兼容包覆层 |
(心脏起搏器,耳蜗植入) |
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收藏性硬币 |
防着色涂层 |
钟表部件 |
防着色层或装饰层 |
珠宝 |
防着色层或装饰层 |
PCB |
防锡晶须及腐蚀 |