1. CF法兰(ConFlat Flange)CF法兰采用金属刀口-金属刀口的密封方式,通过压紧实现超高真空密封,通常使用无氧铜等金属密封圈。其适用的真空度最高可达10⁻¹² mbar,常用于超高真空系统。
2. KF法兰(Quick Flange)KF法兰是一种快卸式法兰,通过卡箍实现快速装拆,操作方便。它通常使用橡胶密封圈(如Viton),适用于低真空或中真空场景,最高可满足10⁻⁸ mbar的真空度要求。
3. ISO法兰ISO法兰是一种国际标准化的法兰,常用于大尺寸真空系统(通常直径超过50mm)。它主要有两种形式:
- ISO-K法兰:通过法兰爪和卡箍紧固,配合橡胶密封圈(如Viton、Buna)使用。
- ISO-F法兰:通过螺栓直接紧固。ISO法兰适用的真空度最高可达10⁻⁸ mbar,广泛应用于需要经常装拆的场合。
除了上述类型,真空法兰还可根据连接方式分为螺纹法兰、活套法兰等。螺纹法兰通常用于焊管连接,而活套法兰(松套法兰)便于拆卸且对管道不产生附加力矩,适用于内衬脆性材料的低压容器。
在选择真空法兰时,需考虑其抗压性、抗冲击性、密封性能以及适用的真空度范围。此外,法兰的材质(如304或316不锈钢)和密封材料(如Viton、无氧铜)也会影响其性能和使用寿命。






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