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企业信息

厦门越昌科技有限公司

实名认证企业认证

成立年份：

2023年

经营模式：

制造商

企业类型：

企业单位

主营产品：

精密检测位移台,精密气浮平台,激光加工位移台,半导体设备位移台

联系地址：

中国福建省厦门市集美区珩田北路541号一楼

13559230491

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越昌科技陶瓷气浮直线电机位移台 360行程纳米级超精密平台

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产品

越昌科技陶瓷气浮直线电机位移台 360行程纳米级超精密平台

行程

360×360 mm

电机类型

三相无铁芯电机

最大速度

500 mm/s

单价

666.00元/台

最小起订

1台

供货总量

999台

发货期限

自买家付款之日3天内发货

有效期至

长期有效

最后更新

2026-10-26 17:21

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产品介绍

加工定制：是

型号：三相无铁芯电机

测量范围：360×360 mm

测量对象：晶圆、光学镜片、精密零件

测量精度：重复定位精度 ±0.1μm

尺寸：按实际定制尺寸为准

重量：视具体配置而定

【产品概述】陶瓷气浮直线电机位移台是一种将陶瓷导轨、气浮支撑与直线电机直驱技术深度融合的超精密运动执行机构。平台以高性能陶瓷材料作为导轨基体，配合多孔质气浮结构形成均匀气膜，使滑台在非接触状态下运行，从根源上消除机械摩擦、爬行与磨损。

【核心性能优势】

极高的热稳定性：陶瓷材料具有极高的硬度与刚性，其热膨胀系数仅为钢材的约三分之一。在温度波动环境下仍能保持稳定的几何精度，确保测量数据的可靠性。
微纳级定位精度：直线电机直接驱动负载，高分辨率光栅尺构成全闭环反馈。重复定位精度可达±0.1μm以内，直线度与平面度进入亚微米乃至纳米级。
环境友好免维护：无接触运行消除了机械摩擦带来的振动干扰。陶瓷导轨具备非磁性、耐腐蚀特性，且无润滑剂运行，是洁净室与真空环境的理想选择。

【典型应用场景】

精密检测设备：圆度仪、圆柱度仪、轮廓仪等形位公差测量设备的理想载体。
半导体与光学制造：广泛应用于晶圆厚度测量、键合间隙检测、透镜曲率半径与平行度分析。
科研与计量领域：常作为纳米位移台、压电陶瓷驱动器的校准基准。