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化学名称:全氟丁二烯，六氟-1,3-丁二烯

结构式:CF2=CF-CF=CF2

分子式:C4F6

分子量:162.03

沸点（℃):6

凝固点（℃）:-130

临界温度（℃）:139.6

临界压力（bar）:31.9

液体密度（15℃，kg/l）:1.44

蒸汽密度（kg/m3,@15℃）:6.8

蒸汽压（25℃，bar）:2.11

汽化潜热（熔点时，1.013bar情况下，kJ/kg）:161.8

空气中的可燃范围（%vol):7-73

ODP:0

GWP100年:＜1

大气停留时间（天）:1.1

全氟丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低，绿色环保的高效干蚀刻气体，具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高**性，更适合于高深宽比的蚀刻工艺。