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企业信息
广州智联德自动化科技有限公司
实名认证企业认证
成立年份:
2026年
经营模式:
制造商,贸易商
企业类型:
企业单位
主营产品:
晶圆贴膜机,半导体贴膜机,手动晶圆贴膜机,半自动晶圆贴膜机,全自动晶圆贴膜机,手动动半导体贴膜机,半自动半导体贴膜机,全自动半导体贴膜机,半导体真空贴膜机,晶圆解胶机,半导体解胶机,晶圆扩膜机,半自动晶圆扩膜机
联系地址:
广州市番禺区石楼镇市莲路石楼路段14号国凌中芯城A栋507
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6 英寸晶圆贴膜机(现货完整版)

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产品
6 英寸晶圆贴膜机(现货完整版)
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长期有效
最后更新
2026-08-14 17:37
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产品介绍

6 英寸晶圆贴膜机(现货完整版)

Wafer Mounter 6‑inch,适配划片 Dicing / 减薄 Back‑Grind工艺;6 寸为主,多数现货机型可兼容 8 寸铁环;现货集中在手动桌面式,半自动少量现货,全自动基本排单生产。

一、现货机型完整参数对比

1)手动桌面式(现货充足,广东仓库可直接发货,研发、小批量打样)

代表型号:DSXUV‑WM6、ZLD‑187、TM‑600

表格

项目 参数
适配晶圆 6 英寸(150mm),可选兼容 8 寸;硅片、SiC、GaAs、玻璃基板
晶圆厚度 100‑1000μm;选配微孔台盘可低至 50μm 超薄 TAIKO 晶圆
适配铁环 标准 6 寸 DISCO 铁环,可共用 8 寸框架
支持膜材 UV 切割膜、蓝膜、BG 背磨保护膜;卷式膜宽度 220‑320mm
台盘 标准:防静电特氟龙真空台盘;选配:微孔真空台盘(超薄片必选);温控可选室温‑100℃
贴膜机构 手动摇臂 + 浮动压力滚轮,滚轮压力可调,避免气泡、褶皱
切割系统 环切刀(切铁环外圈)+ 横切刀(切断膜卷);加热切刀可选
防静电 防静电台盘、防静电滚轮;选配离子风除静电模组
气源电气 AC220V;压缩空气 0.5‑0.8MPa,流量 60‑80L/min;内置真空发生器
产能 单片 25‑40s;约 80‑120 片 / 天(人工操作)
设备尺寸 540×840×420mm;整机约 50‑60kg,桌面摆放,无需固定地基
洁净等级 Class1000,百级洁净房可使用
现货情况 有现货,3‑7 天可交付,支持现场来料试机
适用场景 实验室研发、小批量打样、小厂月产能<5000 片;划片、减薄前贴膜均可

2)半自动机型(少量现货,多数需确认库存;中小量产)

代表型号:STK‑6020、HYH‑V6‑M、ZLD‑04S

表格

项目 参数
晶圆规格 6 英寸,兼容 8 寸;厚度 200‑750μm,可选微孔台盘支持 80μm 薄片
铁环 6/8 寸标准划片铁环通用
膜材 UV 膜、蓝膜、BG 背磨膜,支持 DAF 膜选配
台盘 特氟龙防静电真空台盘,温控:室温~100℃可调
贴膜动作 自动拉膜、自动滚轮贴合、自动回收离型膜;人工上下晶圆与铁环
切割 环切刀 + 直切刀,切刀加热室温‑120℃;PLC+7 寸触摸屏,存储多组工艺配方
防静电 整机防静电,标配离子风消除静电
气源电气 AC220V 10A;压缩空气 0.5MPa,流量 100L/min;外接真空泵
产能 单片 15‑25s;一人值守可操作 2 台,月产 8000‑20000 片
设备尺寸 670×1180×780mm,重量约 180‑220kg
洁净 Class1000
现货情况 少量现货,多数 7‑15 天交期
适用场景 封测中小产线,减薄前贴膜、划片贴膜

3)全自动滚轮 / 真空式(几乎无现货,排单 30‑60 天;大批量量产)

代表型号:ZLD‑168、STK‑7200V

表格

项目 参数
晶圆 6/8 寸兼容;厚度 50‑1000μm,TAIKO 薄片支持
工艺流程 卡匣自动上下料、视觉对位、自动贴膜、自动切割、废膜回收、出料;可选机内 UV 照射单元
贴膜方式 滚轮式(常规硅片);真空非接触贴膜(SiC/GaN 翘曲薄片)
通讯 支持 SECS/GEM 对接 MES 产线
产能 30‑70 片 / 小时 WPH
尺寸重量 1350×1800×1950mm,约 800‑900kg
洁净 Class100‑1000 可选
现货情况 基本无现货,以排单为主;二手机有部分进口 6 寸全自动现货(LINTEC、Takatori)
适用场景 大型封测厂,月产>20000 片,24h 连续生产

二、工艺差异(划片贴膜 VS 减薄贴膜,选型关键点)

  1. 划片 Dicing 贴膜目的:切割时固定芯片,防止飞片、崩边;切割后扩膜取片膜:UV 切割膜 / 蓝膜;优先 UV 膜,取片前 UV 照射降粘台盘:普通真空台盘即可;薄片优先微孔台盘
  2. 减薄 Back‑Grind 贴膜(背磨)目的:保护晶圆正面电路,研磨时防止损伤凸点、焊盘;减薄后提供机械支撑膜:BG 背磨保护膜,对贴膜气泡率要求极高,气泡率<0.01%台盘必须带加热功能,改善贴膜排气,减少气泡;翘曲晶圆建议微孔台盘
⚠️ 超薄晶圆(<150μm,尤其<80μm):务必选微孔真空台盘,普通台盘容易破片、翘曲、贴膜气泡。

三、可选配置清单(现货机可加装)

  1. 微孔真空台盘:超薄 / 翘曲晶圆必选,分区负压吸附,降低破片率
  2. 台盘加热模块:室温‑100℃,减薄贴膜强烈推荐,改善排气
  3. 切刀加热组件:针对高粘 UV 膜,切割不拉丝
  4. 离子风除静电模组:减少静电吸附微粒,保护器件
  5. 机内 UV‑LED 固化单元(365nm):贴膜后直接 UV 照射,省去独立 UV 机
  6. DAF 贴膜组件:支持芯片粘接膜 DAF 工艺
  7. 预切膜模式:适配预切割胶带,降低贴膜拉伸应力
  8. SECS/GEM 通讯(仅全自动机型)对接工厂 MES 系统

四、现货采购注意事项

  1. 现货库存区分手动桌面:广州 / 东莞仓库现货,可安排来料打样试机;半自动:少量样机现货,下单前确认实际库存;全自动新机无现货;二手进口 6 寸贴膜机有部分现货,需要评估设备磨损、密封圈、真空系统、切割刀状态。
  2. 配套设备建议(整套出货) 6 寸扩膜机、UV 解胶机、晶圆框架存放架。
  3. 进厂条件电源 AC220V;干燥洁净压缩空气 0.5‑0.8MPa;真空泵(部分机型内置真空发生器,大产能建议外接工业真空泵);放置环境洁净度 Class1000 及以上。

五、需要你补充的信息,我可以输出完整中英双语规格书 + 报价模板

 

  1. 工艺:划片 / 减薄?
  2. 晶圆厚度,是否有翘曲、TAIKO 薄片?
  3. 膜材:UV 膜还是蓝膜,是否需要 DAF?
  4. 是否需要兼容 8 寸晶圆?
  5. 月产能大概多少片?
  6. 车间洁净等级?是否需要加装 UV 固化、离子风?

 

询价单 
 
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工商信息*以下内容来自第三方启信宝提供
法定代表人
陈积锦
经营状态
存续(在营、开业、在册)
注册资本
131.93 万人民币
实缴资本
统一社会信用代码
91440113MAKBRKH38B
组织机构代码
MAKBRKH38
企业注册号
440126005400023
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
登记机关
广州市番禺区市场监督管理局
成立日期
2026年04月14日
营业期限
2026年04月14日---
核准日期
2026年04日14日
注册地址
广州市番禺区石楼镇市莲路石楼路段14号(临时门牌)自编A幢507-2
经营范围
半导体分立器件销售;半导体分立器件制造;半导体器件专用设备销售;半导体器件专用设备制造;智能基础制造装备制造;人工智能硬件销售;智能机器人销售;文化场馆用智能设备制造;智能仪器仪表制造;智能无人飞行器销售;智能基础制造装备销售;人工智能双创服务平台;工程和技术研究和试验发展;人工智能公共服务平台技术咨询服务;智能机器人的研发;人工智能理论与算法软件开发;工业机器人制造;自然科学研究和试验发展;人工智能基础资源与技术平台;人工智能公共数据平台;特殊作业机器人制造;服务消费机器人制造;新材料技术研发;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;工业机器人销售;服务消费机器人销售;货物进出口;技术进出口;进出口商品检验鉴定;网络与信息安全软件开发;区块链技术相关软件和服务;软件开发;数字文化创意软件开发;软件销售;软件外包服务;建筑智能化工程施工