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企业特殊行业经营资质信息公示
Wafer Mounter 6‑inch,适配划片 Dicing / 减薄 Back‑Grind工艺;6 寸为主,多数现货机型可兼容 8 寸铁环;现货集中在手动桌面式,半自动少量现货,全自动基本排单生产。
代表型号:DSXUV‑WM6、ZLD‑187、TM‑600
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 适配晶圆 | 6 英寸(150mm),可选兼容 8 寸;硅片、SiC、GaAs、玻璃基板 |
| 晶圆厚度 | 100‑1000μm;选配微孔台盘可低至 50μm 超薄 TAIKO 晶圆 |
| 适配铁环 | 标准 6 寸 DISCO 铁环,可共用 8 寸框架 |
| 支持膜材 | UV 切割膜、蓝膜、BG 背磨保护膜;卷式膜宽度 220‑320mm |
| 台盘 | 标准:防静电特氟龙真空台盘;选配:微孔真空台盘(超薄片必选);温控可选室温‑100℃ |
| 贴膜机构 | 手动摇臂 + 浮动压力滚轮,滚轮压力可调,避免气泡、褶皱 |
| 切割系统 | 环切刀(切铁环外圈)+ 横切刀(切断膜卷);加热切刀可选 |
| 防静电 | 防静电台盘、防静电滚轮;选配离子风除静电模组 |
| 气源电气 | AC220V;压缩空气 0.5‑0.8MPa,流量 60‑80L/min;内置真空发生器 |
| 产能 | 单片 25‑40s;约 80‑120 片 / 天(人工操作) |
| 设备尺寸 | 540×840×420mm;整机约 50‑60kg,桌面摆放,无需固定地基 |
| 洁净等级 | Class1000,百级洁净房可使用 |
| 现货情况 | 有现货,3‑7 天可交付,支持现场来料试机 |
| 适用场景 | 实验室研发、小批量打样、小厂月产能<5000 片;划片、减薄前贴膜均可 |
代表型号:STK‑6020、HYH‑V6‑M、ZLD‑04S
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 晶圆规格 | 6 英寸,兼容 8 寸;厚度 200‑750μm,可选微孔台盘支持 80μm 薄片 |
| 铁环 | 6/8 寸标准划片铁环通用 |
| 膜材 | UV 膜、蓝膜、BG 背磨膜,支持 DAF 膜选配 |
| 台盘 | 特氟龙防静电真空台盘,温控:室温~100℃可调 |
| 贴膜动作 | 自动拉膜、自动滚轮贴合、自动回收离型膜;人工上下晶圆与铁环 |
| 切割 | 环切刀 + 直切刀,切刀加热室温‑120℃;PLC+7 寸触摸屏,存储多组工艺配方 |
| 防静电 | 整机防静电,标配离子风消除静电 |
| 气源电气 | AC220V 10A;压缩空气 0.5MPa,流量 100L/min;外接真空泵 |
| 产能 | 单片 15‑25s;一人值守可操作 2 台,月产 8000‑20000 片 |
| 设备尺寸 | 670×1180×780mm,重量约 180‑220kg |
| 洁净 | Class1000 |
| 现货情况 | 少量现货,多数 7‑15 天交期 |
| 适用场景 | 封测中小产线,减薄前贴膜、划片贴膜 |
代表型号:ZLD‑168、STK‑7200V
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 晶圆 | 6/8 寸兼容;厚度 50‑1000μm,TAIKO 薄片支持 |
| 工艺流程 | 卡匣自动上下料、视觉对位、自动贴膜、自动切割、废膜回收、出料;可选机内 UV 照射单元 |
| 贴膜方式 | 滚轮式(常规硅片);真空非接触贴膜(SiC/GaN 翘曲薄片) |
| 通讯 | 支持 SECS/GEM 对接 MES 产线 |
| 产能 | 30‑70 片 / 小时 WPH |
| 尺寸重量 | 1350×1800×1950mm,约 800‑900kg |
| 洁净 | Class100‑1000 可选 |
| 现货情况 | 基本无现货,以排单为主;二手机有部分进口 6 寸全自动现货(LINTEC、Takatori) |
| 适用场景 | 大型封测厂,月产>20000 片,24h 连续生产 |
⚠️ 超薄晶圆(<150μm,尤其<80μm):务必选微孔真空台盘,普通台盘容易破片、翘曲、贴膜气泡。