晶圆覆膜机（行业标准名：晶圆贴膜机 / Wafer Mounter，也叫晶圆装片机）

晶圆覆膜机属于半导体后道封测核心设备，放在晶圆减薄、划片（Dicing）工序之前，把划片膜（UV 膜 / 蓝膜 / BG 背磨膜）贴在晶圆背面，将晶圆固定在金属晶环上，行业口语常叫覆膜机。

✅ 核心作用

1. 固定晶圆：晶圆贴在膜 + 晶环上，切割后芯片不会飞片、崩边、散落
2. 背面保护：减薄、划片、搬运过程防止划伤、污染
3. 适配后续工序：UV 膜经过 UV 照射后粘性下降，方便后续扩膜、芯片拾取（Die Pick）

? 分类（按自动化等级）

1. 手动晶圆覆膜机

• 适配：2~8 英寸晶圆，实验室、研发打样、小批量
• 流程：人工放晶圆 + 钢环，手动拉膜、滚轮压合、裁切废膜
• 优点：成本低、占地小；缺点：一致性差，依赖操作员水平

2. 半自动晶圆覆膜机（市面主流）

• 适配：4~12 英寸兼容，中小批量量产、功率器件、MEMS、分立器件
• 流程：人工摆放晶圆 + 晶环；设备自动送膜、剥离离型膜、滚轮压合、环切、废膜收卷；可存储多套工艺配方
• 产能：约 10–25 片 / 小时；可选加热平台、防静电、双膜卷切换

3. 全自动晶圆覆膜机

• 适配：8/12 英寸大规模封测厂
• 流程：FOUP 晶盒自动上下料、机械手搬运、视觉缺口对位、自动贴膜裁切；支持 SECS/GEM 对接 MES 产线联网
• 压合两种方案： 滚轮式：常规晶圆量产 真空压差式：超薄晶圆＜50μm、翘曲晶圆、碳化硅、TSV；腔体真空压合，无硬滚轮接触，降低裂片风险

? 核心结构

• 真空台盘：特氟龙 / 微孔陶瓷，防静电，真空吸附晶圆与晶环，温控 RT~120℃
• 膜卷输送机构：张力控制，离型膜剥离、废膜收卷
• 压合单元：弹性压辊 / 真空气囊腔体
• 裁切机构：环切刀头，沿晶圆外缘切除多余薄膜
• 视觉定位（半自动 / 全自动）：晶圆缺口定位，对位精度 ±5~10μm
• 静电消除模块、洁净离子风、触控工艺控制系统

? 常用膜材

• UV 划片膜：主流，UV 曝光后粘力衰减，适合芯片拾取
• 蓝膜（非 UV 膜）：普通划片，无需 UV 照射，低成本
• BG 背磨膜：晶圆背面研磨专用，耐高温，减薄制程

⚙️ 标准工艺流程

晶圆上料 → 洁净除静电 → 视觉对位 → 膜输送 + 离型膜剥离 → 加热 / 滚轮压合贴膜 → 外缘环切废膜 → 废膜收卷 → 成品下料

? 相关配套设备

晶圆扩膜机、UV 解胶机、划片机、晶圆减薄机