晶圆压膜机（Wafer Laminator）

行业口语里，晶圆压膜机 = 晶圆真空压膜机，和前面说的晶圆贴膜机（Wafer Mounter）有本质工艺区别。 贴膜机大多是滚轮滚压，贴划片 UV 膜 / 蓝膜（背磨膜），后道划片用； 压膜机多指真空腔体气囊热压，贴干膜：NCF、PI、Mold Film、干阻膜，面向**封装。

✅ 核心用途

在真空环境下加热 + 均压，将干膜完整压合在晶圆正面（带凸点、TSV、Fan-out、3DIC），用于：

• NCF 非导电胶膜压合（芯片键合）
• PI 聚酰亚胺膜、干光刻胶膜
• Fan-out 塑封膜 Mold Film
• TSV 高深宽比沟槽填膜，消除气泡、空洞

不用于常规划片蓝膜 / UV 膜贴晶环（这是贴膜机的活）

⚙️ 工作原理

晶圆与干膜先在腔体内分离，抽真空消除空气，再用柔性加热气囊整体均匀加压 + 加温，全表面软压合，无硬滚轮接触，避免压伤凸点、超薄晶圆。压力、温度、真空度独立 PID 控制。

• 滚轮式：属于贴膜机，大气环境，滚压贴划片膜
• 真空气囊压合：晶圆压膜机，真空腔，**封装干膜

? 分类

1. 半自动真空晶圆压膜机

适配：4/6/8 英寸，研发、小批量，功率器件、WLP 试产 流程：人工上晶圆 + 预切干膜 → 腔体抽真空 → 气囊热压合 → 冷却出料 温控：RT~150℃，压力 0.1~0.8MPa 优点：设备投入低；缺点：人工放膜，产能低

2. 全自动晶圆压膜机（量产型）

适配：8/12 英寸，Fan-out、TSV、3D IC 大厂 流程：FOUP 自动上下料 → 晶圆预清洁 → 干膜自动裁切送料 → CCD 视觉对位 → 真空腔体压合 → 冷却、自动下料 支持 SECS/GEM，对接 MES/EAP，可在线检测空洞、褶皱 气泡 / 空洞率：＜0.1%，适合高深宽比沟槽填覆

? 核心结构

• 真空压合腔体：密闭不锈钢洁净腔体
• 加热气囊压头：硅胶 / 氟橡胶柔性气囊，全域均匀施压，不损伤微凸点
• 真空系统：高真空机组，快速抽气
• 干膜送料 + 预裁切模组：PI/NCF 干膜卷材裁切
• 视觉对位系统：对位精度 ±1~3μm
• 温控系统：分区加热，温度均匀性 ±2~3℃
• 洁净与除静电模块（ISO7 洁净）

? 适用膜材（干膜为主）

• NCF 非导电胶膜（3D IC、芯片键合）
• PI 聚酰亚胺保护膜
• Mold Film 扇出型塑封干膜
• 干光刻胶、临时键合干膜

? 标准工艺流程

晶圆上料 → 表面除尘除静电 → 干膜裁切输送 → 视觉对位 → 送入真空腔体 → 抽真空 → 气囊加热压合保压 → 腔体破真空 → 晶圆冷却出料 → 质检

⚖️ 晶圆压膜机 VS 晶圆贴膜机（快速区分）

表格

? 配套设备

真空除泡机、晶圆临时键合机、解键合机、显影 / 刻蚀设备