很多人聊芯片,目光都放在光刻机、刻蚀机上。但很少有人知道,在芯片封装环节,一台小小的晶圆贴膜机,直接决定晶圆能不能顺利完成减薄、划片切割,一旦贴膜失败,整片晶圆直接报废。
晶圆是又薄又脆的硅片,在背面研磨减薄、高速划片切割时,很容易碎裂、崩边,芯片碎片飞散,也就是行业说的 “飞片”。晶圆贴膜机的工作,就是在晶圆表面均匀贴上一层特殊胶膜(UV 膜、蓝膜、BG 保护膜),把晶圆牢牢固定在晶环框架上。
这层膜就像芯片的 “安全托底”:
背面研磨:保护正面电路不受损伤,防止薄化时破片
划片切割:切割后芯片不会四散飞掉,方便后续扩膜、拾片
转运存储:隔离粉尘、减少晶圆表面划伤
贴膜最难的不是贴上去,而是无气泡、低应力、无颗粒污染。一点点气泡,在后续高温或者切割过程中,就会造成芯片剥离、良率暴跌。高端机型会采用真空腔体、柔性压辊、精密温控,控制贴膜压力,避免应力压坏超薄晶圆。
从 6 寸、8 寸到 12 英寸晶圆,手动、半自动、全自动晶圆贴膜机覆盖不同产线需求。随着国内封测厂扩产,国产晶圆贴膜设备快速突破,慢慢打破海外设备垄断。
小小的一道贴膜工序,藏着精密制造的大学问。 你觉得半导体后道还有哪些容易被忽略的关键设备?欢迎评论区交流。
广州智联德自动化科技有限公司,由22 年自动化与智能化领域专家团队创办,是集工业设计、研发、生产、销售、服务于一体的综合性自动化设备与数字化解决方案企业。 智联德以聚焦半导体设备、芯片晶圆贴膜机、半导体贴膜机、晶圆压膜机、半导体压膜机、手动晶圆压膜机、半自动晶圆压膜机、晶圆覆膜机、半导体覆膜机、手动晶圆覆膜机、半自动晶圆覆膜机、晶圆解胶机、半导体解胶机、晶圆扩膜机、半导体扩膜机、机器人研发与智能制造领域,自动化设备:AI + 自动化、智能体 + 机器人为核心技术方向,致力于为全球企业提供稳定、可靠的自动化解决方案。

企业特殊行业经营资质信息公示

