广州智联德自动化科技自研生产的半自动晶圆扩膜机,是半导体划片后晶粒扩张的核心设备,行业内也常称为扩晶机、晶片扩张机,广泛配套 IC 芯片、功率器件、LED、二极管、三极管、QFN 元器件封装产线使用。
晶圆经过切割之后,晶粒之间间隙极小,在固晶、取料分选环节极易发生晶粒碰撞、崩边、粘连,直接拉高不良率。智联德晶圆扩膜机采用恒温加热 + 伺服同步拉伸结构,对蓝膜、UV 切割膜进行均匀径向扩张,稳定拉开晶粒间距,拉伸完成后膜体紧绷、不褶皱、晶粒位置不偏移,为后续固晶、拾片工序提供稳定工艺基础。

本款半自动扩膜机支持 2 寸、4 寸、6 寸、8 寸、12 寸晶圆规格切换,触摸屏一体化设置,扩膜速度、拉伸行程、加热温度、保压时间均可独立参数化保存,换产品时直接调用配方,减少调机时间。设备搭载闭环温控系统,加热台温度可控,适配不同厚度 UV 膜与蓝膜;整机采用进口直线导轨,运行平稳,多次扩膜一致性好,长期生产不易出现扩膜不均、局部过拉碎晶问题。
设备配置安全防护、异常报警、急停保护,满足无尘车间 防静电要求,结构紧凑,占地面积小,既适合中小封装厂批量投产,也可配套自动化产线对接使用。智联德全套半导体设备包含晶圆贴膜机、UV 解胶机、扩膜机,可提供贴膜 — 划片 — 扩膜 — 解胶整套工艺方案,支持按需定制工装夹具,提供上门调试、工艺指导、售后维保服务

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