在半导体后道封装制程中,划片后的扩膜工艺是影响良率的关键节点。很多工厂使用简易扩膜工装,容易出现拉伸不均匀、膜材拉扯变形、晶粒偏移、薄晶圆裂片等问题,取片时频繁卡料、碎晶,制约整条产线产能。
智联德晶圆扩膜机针对行业痛点优化结构设计,采用四周同步均匀扩张方式,区别于传统单向拉伸,XY 方向张力均衡,薄晶圆、超薄芯片、LED 晶粒都能稳定扩膜。恒温加热台提升膜材可塑性,降低拉伸应力,减少膜材回弹,扩膜完成后晶粒间距均匀统一,有效杜绝相邻晶粒互相剐蹭碰撞,从源头减少崩边、缺角不良,提升固晶机、分选机拾片稳定性。

机型覆盖手动、半自动两个系列,半自动机型支持配方存储,多产品快速切换;手动款结构简单、性价比高,适合打样、小批量研发试样。适配硅晶圆、玻璃衬底、碳化硅等多种基材,兼容市面主流 UV 膜、蓝膜、划片保护膜,晶圆环更换简单,无需复杂改造。
设备出厂前经过长时间稳定性测试,执行质量管控标准,耐磨件寿命更长,故障率低。智联德技术团队可根据客户产品特性,提供扩膜工艺参数建议,搭配同系列贴膜机、解胶机配套使用,实现后道工序工艺匹配,帮助封装企业稳定良率、减少耗材浪费,降低生产成本。

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