深圳市中图仪器股份有限公司 已通过实名认证

产业发展和升级使得微电子、微机械、光学和现代超精密加工工业对检测精度的要求越来越高，同时要求更大的检测量程，而其他检测方法难以胜任，只有激光干涉检测技术可以在大量程内达到较高的测量精度，所以在高端制造领域得到广泛应用。

在研制、试验、生产过程中，运用到大量的精密直线位移传感器，激光干涉仪可以对这些传感器进行**的检测

中图仪器推出的SJ6000激光干涉仪，采用高稳频氦氖激光器、双纵模热稳频技术、多参数环境补偿技术、高速数字信号处理系统等技术，通过与不同的光学组件结合，实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。是校准数字机床、坐标测量机及其它定位装置精度及线性指标常用的标准仪器。

1、在数控机床检定中的应用

SJ6000激光干涉仪可用于精密机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度的测量，为机床误差修正提供依据。软件内置10项常用机床检验标准。使用激光干涉仪检测机床各项误差并进行修正是传统测量手段难以实现的技术，是大幅度提高数控机床的加工精度的措施。

数控机床轴定位精度、重复定位精度的检测

2、在三坐标检测中的应用

SJ6000激光干涉仪搭配其镜组和辅件可检测三坐标测量机的位移精度、直线度、垂直度。随着当代制造业对加工速度的要求提升，三坐标测量机各结构件由于高速运行产生机构变形，导致的动态误差不可忽略。使用激光干涉仪对三坐标测量机进行静态误差、动态误差测量和补偿，对提升测量精度具有重要意义。

三坐标线性精度、垂直度的检测

3、在位移传感器中的应用

利用激光干涉仪对位移传感器检定成为发展趋势，其特点是反应速度快、测量精度高，是位移传感器实现高精度校准的重要手段。

传感器线性精度的测量

4、与其他镜组配合的应用

SJ6000激光干涉仪与不同光学组件结合，可以实现距离、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数的测量，具有高精度和效率。

测长机线性精度、垂直度的测量

工业机器人标定

汽车装配与夹具定位

SJ6000激光干涉仪技术参数：

技术线性测长精度：±0.5ppm(0~40℃)

激光稳频精度：0.05ppm

分辨率：0.001um