中图仪器SJ6000激光干涉速度测量仪可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测,结合软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析。仪器以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。
产品功能
1.可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;
2.可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;
3.可实现龙门机床双轴同步测量;
4.可实现对机床回转轴的测量与校准;
5.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;
6.具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;
7.支持手动或自动进行环境补偿。
检定测长机
对机床精度再校准
SJ6000激光干涉速度测量仪测量机床直角如机器轴垂直度误差测量(数控机床、坐标测量机等),是通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度,即在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较,得出两个轴的垂直度。共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴,在两次测量过程中既不移动、也不调整,光学直角尺测量中,允许调整激光束与直线度的准直,而不动直线度反射镜。
激光干涉速度测量仪量程精度(部分)
稳频精度:0.05ppm
线性测量精度:0.5ppm(0-40)℃
线性测量距离:(0-80)m(无需远距离线性附件)
角度测量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m