七星华创CS200质量流量计的精度多少？_新闻中心

普通会员

企业类型：
企业单位
经营模式：
贸易商
荣誉认证：
营业执照已认证
注册年份：
2015
主营：
机电设备及配件，仪器仪表（不含医用），阀门，管件，五金交电,工业电炉,实验室,真空配件腔体,管式炉,箱式炉,PECVD,真空法兰,质量流量计,气体配比器,搭建CVD供气系统,非标定制
地址：
河南省郑州市中原区电厂路国家大学科技园创新园6号楼K座3层

更多新闻分类

更多联系方式

站内搜索

更多友情链接

您当前的位置：首页 » 新闻中心 » 七星华创CS200质量流量计的精度多少？

新闻中心

七星华创CS200质量流量计的精度多少？

发布时间：2017-04-18 浏览次数：124 返回列表

S200A 数字式气体质量流量控制器

产品型号：CS200-A型
产品系列：CS系列数字式质量流量控制器
产品类型：高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰

产品型号	CS200-A型
产品类型	高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm
产品精度	±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
重复精度	±0.2% FS
线性	±0.5% F.S.
响应时间	≤1sec
工作温度范围	(5~45)°C
耐压	3MPa
密封材料	氟橡胶Viton
输入输出信号	(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus
电源	±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
阀类型	常开(流量量程≤30slm)或常闭
温度系数	Span: ≤±0.1% F.S./℃（≤30slm）,Zero: ≤±0.05% F.S./℃
零点飘移指标	＜0.6%F.S. per year without autozero
电气连接	Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作压差范围	(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）,(0.2～0.45) MPa（30slm＜F.S.）
漏率	1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）
标准接头形式	双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套1/8”(满量程≤5slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,VCO1/4”
表面化学成分	- 无 -
表面粗糙度	25µinch
抗电磁干扰	CE
重量	1Kg

可根据需求定制多种气体量程

联系：
联系人：李工