企业特殊行业经营资质信息公示
营业执照已认证 郑州科探仪器设备供应空气（Air)质量流量计气体配比器厂家直销
空气（Air)质量流量计气体配比器产品介绍：
科探仪器设备**从事气体配比器研究,制造销售，公司质量流量计气体配比器高精度，多量程。空气（Air)质量流量计气体配比器安全性能高，除了空气（Air)质量流量计气体配比器外，我们公司还常年销售实验室管式炉 箱式炉 CVD搭建 定制各种实验室器材 非标定制设备
真空腔体非标加工 真空法兰 等等。。。如有需要：.李工
空气（Air)质量流量计气体配比器 主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加 该空气（Air)质量流量计气体配比器可以根据客户需求定制其它气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.
产品用途;
空气（Air)质量流量计气体配比器 主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境检测与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
产品用途;
空气（Air)质量流量计气体配比器 主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境检测与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
| 产品类型 | 高精度型,快响应型 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
| 产品精度 | ±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) |
| 重复精度 | ±0.2% FS |
| 线性 | ±0.5% F.S. |
| 响应时间 | ≤2sec |
| 工作温度范围 | (5~45)°C |
| 耐压 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
| 输入输出信号 | (0~5)VDC |
| 电源 | ±15V |
| 阀类型 | 常闭 |
| 温度系数 | - 无 - |
| 零点飘移指标 | - 无 - |
| 电气连接 | D sub 15 pins Male |
| 工作压差范围 | (0.1～0.3) MPa,(0.1～0.5) MPa |
| 漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He） |
| 标准接头形式 | 双卡套1/8”(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ3(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头 |
| 表面化学成分 | - 无 - |
| 表面粗糙度 | - 无 - |
| 抗电磁干扰 | CE |
| 重量 |
21kg |
