标准复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理,利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统,具有启动时间快、真空度高、使用方便等特点。广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等
技术参数:
控制方式
手动控制
前级泵
双极4旋片真空泵
前级泵抽气速率
4L/S
前级泵极限压强
≤1Pa
分子泵
F-100/110 4300转/分
分子泵抽气速率
100L/S
分子泵启动时间
≤3min
空载极限压强
≤1X10-4Pa
真空测量范围
电阻单元1E﹢5到1E-1 Pa
电离单元 5到5E-5Pa
抽气接口
KF25
系统电源
AC220V
系统功率
1KW
环境温度
5~32℃
冷却方式
强制风冷却
湿度
≤80%
噪音
<60分贝
外形尺寸
430 X500 X 650mm
重量
65KG
随机配件:KF25高真空挡板阀X1个 KF25卡箍X3个 kf25-1.5米不锈钢波纹管x1根 说明书X1本 电源线x1根 油污过滤器X1个(已安装)