该探针台的承片台X/Y/Z三个方向均可在真空环境下调节,其中X方向调节范围:0-30mm;y方向调节范围:0-13mm;z方向调节范围:0-13mm;用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上,再微调探针支架X/Y/Z 方向行程,通过显微镜观察,使探针对准检测点后,即可进行检测。
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
实验腔体
腔体材质:304不锈钢
上盖开启:铰链侧开
内腔体尺寸:φ140x180
加热台材质:304不锈钢
观察窗尺寸:φ75
加热台尺寸:50x50
加热台温度:室温-350℃可调
加热台温控误差:±1℃
真空度:机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
真空抽气口:KF25
气体进气口:3mm-6mm卡套接头
进气阀门:高精密针阀
抽气阀门:KF25真空挡板阀
压力表:机械压力表 -0.1-0.15mpa
信号电极:4个
探针数量:4个
探针材质:φ1.5钨针 其他材质可选
探针移动平台:X轴移动行程 实验腔体
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