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点击图片查看原图等离子清洗机作为一种微观固体表面的处理设设备，是一种全新的表面处理方案。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁等目的。
主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
该清洗机内置高纯石英仓体，采用了新型的电极结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空 气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程，其射频电源与控制都组装在一个机箱内，即减少了空间的占用，更便于操作和放置，同时与大型清洗机相比较，从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作，特别适用科学实验 样品清洗 和教学。
设备型号 | KT-Z2DQX | KT-S2DQX | KT-Z5DQX |
控制方式 | 7寸触摸屏人机界面 | 7寸触摸屏人机界面 | 7寸触摸屏人机界面 |
供电电源 | AC220V（AC110V可选) | ||
工作电流 | 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) | ||
射频电源功率 | 1000W | 150W | 300W |
匹配方式 | 自动匹配 | 手动匹配 | 自动匹配 |
清洗频率 | 40KHz | 13.56MHz | |
耦合方式 | 电容耦合 | ||
工作真空 | ≤50Pa | ||
腔体材质 | 高纯石英 | ||
腔体容积 | 2L(内径110MMX深度220MM) | 2L(内径110MMX深度220MM) | 5L(内径160MMX深度310MM) |
观察窗内径 | Φ50 | Φ50 | Φ70 |
气体流量 | 0-300ml/min（热式质量流量传感器X2个） | ||
真空计量程 | 1E5Pa至1E-1Pa（皮拉尼真空计） | ||
过程控制 | 手动/自动切换 | 手动/自动切换 | 手动/自动切换 |
清洗时间 | 自动开关 | ||
开盖方式 | 铰链侧开式法兰 | ||
外形尺寸 | 150*500*250mm | 450*460*370mm | 530*580*420mm |
重量 | 20kg | 35kg | 40kg |
真空室温度 | 小于65°C | ||
冷却方式 | 强制风冷 | ||
标配 | KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。 | ||
