小型蒸镀仪特别适合蒸镀一些轻金属,如、Al、Mg、和Li等;同时也可对样品进行镀碳处理,大可处理的样品直径为50mm。
KT-Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。
产品型号 | 小型蒸镀仪 | ||
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上)清洗,需自备氩气气瓶 4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 5、通风装置:需要 | ||
主要特点 | 1、配有直连式双旋机械泵(装有油污过滤器和防回油装置),可使真空腔体真空度达到10-2torr。 2、配有KF25波纹管和卡箍。 3、可进行镀碳处理。 | ||
技术参数 | 1、输入电压:AC208V-240V 50/60Hz 2、功率:<2000W 3、真空腔体:熔融玻璃管 4、载物台:50mm 5、大蒸镀区域:45mm 6、钨丝舟:3个 7、真空度:10-2torr(双旋机械泵) | ||
产品规格 |
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标准配件 | 1 | 钨丝舟 | 3个 |
2 | 碳纤维 | 1根 | |
注意事项 | 1、对于蒸镀对氧较敏感的材料,建议使用涡旋分子泵。 2、为了达到较高的无氧环境,至少要用高纯惰性气体对真空腔体清洗3次。 |