PiezoMotor压电电机

PiezoMotor压电电机

PiezoMotor是基于压电材料的微电机的开发商和生产商，产品广泛用于生命科学仪器、半导体、光学和工业自动化等行业，例如半导体加工设备、纳米定位系统、高级光学应用、主动自动对焦系统、微透析泵和手术机器人等。

PiezoMotor特殊的超声压电技术使紧凑型电机具有很高的精度和真正的直接驱动，如LL06、LT20 和LT40等直线电机与欧元硬币的尺寸对比。

Piezo LEGS® 与摩擦驱动一起工作，其中力由压电陶瓷致动腿的预紧力产生，与转子或驱动杆直接摩擦接触。当腿开始行走时，它们始终与驱动杆保持机械接触。

通过向陶瓷施加电压信号来创建受控运动，步长取决于负载，如下图所示：一个完整的步骤可以分为数千个微步，微步长可达亚纳米级。

针对高微步分辨率优化的波形。

微步 = 波形的一部分（整步）；例如每个波形 8192 微步。

》直线运动0-80 mm行程

》非常高分辨率-纳米级别甚至更高

》力范围从几牛顿到 450 牛顿

》紧凑的设计使小型化成为可能

》零背隙和自锁

》无磁性，不产生磁场，可真空兼容