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所谓真空热处理是工件在10-1~10-2Pa真空介质中进行加热到所需要的温度，然后在不同介质中以不同冷速进行冷却的热处理方法。 

真空热处理被当代热处理界称为高效、节能和无污染的清洁热处理。真空热处理的零件具有无氧化，无脱碳、脱气、脱脂，表面质量好，变形小，综合力学性能高，可靠性好（重复性好，寿命稳定）等一系列优点。因此，真空热处理受到国内外广泛的重视和普遍的应用。并把真空热处理普及程度作为衡量一个国家热处理技术水平的重要标志。真空热处理技术是近四十年以来热处理工艺发展的热点，也是当今**制造技术的重要领域。 

一、真空热处理工艺原理和真空热处理和加热特点 工艺原理 

（1）金属在真空状态下的相变特点。 

在与大气压只差0.1MPa范围内的真空下，固态相变热力学、动力学不产生什么变化。在制订真空热处理工艺规程时，完全可以依据在常压下固态相变的原理。完全可以参考常压下各种类型组织转变的数据。 

（2）真空脱气作用，提高金属材料的物理性能和力学性能。 （3）真空脱脂作用。 

（4）金属的蒸发：在真空状态下加热，工件表面元素会发生蒸发现象。 

（5）表面净化作用，实现少无氧化和少无脱碳加热。 

（6）金属实现无氧化加热所需的真空度。

二、真空热处理工艺参数的确定

1、真空度： 

表1.各种材料在真空热处理时的真空度 材料 

真空热处理时真空度

Pa 

合金工具钢、结构钢、轴承钢（淬火温度在900℃以下） 

1~10-1 

含Cr、Mn、Si等合金钢（在1000℃以上加热） 

10Pa（回填高纯氮） 不锈钢（析出硬化型合金）、Fe、Ni基合金，钴基合金 10-1~10-2 钛合金 10-2 

高速钢 1000℃以上充666~13.3Pa N2 Cu及其合金 133~13.3Pa 高合金钢回火 

1.3~10-2 

在考虑工作真空度时应注意几点： 

（1）在900℃以前，先抽0.1Pa以上高真空，以利脱气。 （2）10-1Pa进行加热，相当于1PPM以上纯度惰性气体，一般黑色金属就不会氧化。 

（3）充入惰性气体时，如充133Pa，（50%N2+50%H2）的氮氢混合气体，其效果比10-2～10-3Pa真空还好。此时氧分压66.5Pa是安全的。 （4）真空度与钢表面光亮度有对应关系。 

（5）一般10-3~133Pa真空范围内，真空度温差为±5℃，如气压上升，温度均匀性下降，所以充气压力应尽量可能低些。 2、加热和预热温度： 

表2  预热温度参考表 

淬火加热温度（℃） 

预热温度（1）（℃） 

预热温度（2）（℃） 

预热温度（3）（℃） 

800~900 550-600   1000-1100 550-600 800-850  1200以上 

550-600 

800-850 

1000-1050