DektakXT桌面型探针式表面轮廓仪
布鲁克DektakXT®台阶仪设计创新,实现了更高的重复性和分辨率,垂直高度重复性高达4埃。这项测量性能的提高,达到了过去四十年Dektak®体系技术创新的顶峰,更加稳固了其行业中的**地位。不论应用于研发还是产品测量,在研究工作中的广泛使用是的DektakXT地功能更强大,操作更简便易行,检测过程和数据***也更加完善。技术的突破也实现了纳米尺度的表面轮廓测量,从而可以广泛的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。
探针式轮廓仪的黄金标准
DektakXT®探针式轮廓仪革命性的突破设计创新,实现了垂直高度重复性高达4埃,数据***能力提高了40%。这一里程碑的创新和突破,使得DektakXT实现了纳米尺度的表面轮廓测量,从而可以广泛的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。
技术创新四十余载,不断突破用攀高峰
Dektak品牌是首台基于微处理器控制的轮廓仪,首台实现微米测量的台阶仪,首台可以达到3D测量的仪器,首台个人电脑控制的轮廓仪,首台全自动300mm台阶仪。现在,全新的DektakXT延续了这种开创性的风格,成为世界**台采用具有具有单拱龙门式设计,配备全彩HD摄像机,并且利用64位同步数据处理模式完成*佳测量和操作效率的台阶仪。
提高测量和数据分析速度
首次采用独特高速的直接驱动扫描样品台,DektakXT在不牺牲分辨率和基底噪音水平的前提下,大大缩短了每次扫描的间隔时间,将数据***处理的速度提高40%。另外,DektakXT采用布鲁克具有64位数据***同步分析的Vision64,可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度,并且可以加快数据滤波和多次扫描数据库分析的速度。
提高操作的可重复性
使用单拱龙门结构设计更坚硬持久不易弯曲损坏,而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。DektakXT会把系统和环境噪音引起的测量误差降到*低,能够更稳定可靠的扫描高度小于10nm的台阶,获得其形貌特征。