自动供液系统（CDS)

自动供液系统（CDS)

主要用途：本设备主要用于湿法蚀刻清洗等制程工序需要使用的蚀刻液集中,进行配送，经管道送至设备；具有自动化程度高、配比精确、操,作简便等特点，而且具有良好的耐腐蚀性能；适用化学品：氢氟酸(HF),硝酸(HNO3),双氧水(H2O2),氢氧化钾(KOH),氨水(NH4OH),氢氧化钠(NaOH),盐酸(HCL),硫酸(H2SO4),异丙醇(IPA)等；选配模块：※ 一用一备双桶式或单桶式；※ 具备循环、过滤功能，可根据客户的工艺选配多组过滤、循环系统；※ 当其中一支桶内的液体用完时，能够自动进行不间断双桶切换；※ 具备化学液的取样检测功能；※ 可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理；机台特点：※ 化学品集中及持续不间断供应，多点分配；有防气泡装置，防止因气泡影响配液精度；※ 可同时放置两个20L/50L/200L等标准化学品储液桶；化学品最大输送流量：≤60L/min；※ 定时补充药液或定量补充药液，参数均可在触摸屏上设定；※ 作业区内酸碱气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身安全；※ 客制化设计能力佳，高设计能力满足客户制程工艺需要；设备制造：北京华林嘉业科技有限公司（CGB）.